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分子束外延系統的作用與分類
日期：2025-06-14 17:36
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摘要：
分子束外延系統是半導體、光伏新材料、科學研發領域重要設備之一，近年來，隨著半導體、新材料等行業發展，分子束外延系統市場需求不斷釋放。
分子束外延系統是一種用于物理學、化學、材料科學領域的分析儀器。分子束外延（MBE）是一種新的晶體增長技術，是在超高真空環境下，使具有一定熱能的一種或多種分子（原子）束流噴射到晶體襯底，在襯底表面發生反應的過程。作為新外延制膜方法，分子束外延具有束流強度易控制、襯底溫度低、膜層生長速率慢、可實現選擇性外延生長等優勢。
根據類型不同，分子束外延系統可分為普通型、激光型，其中普通型分子束外延系統是市場主流產品，市場占比超過七成。激光分子束外延系統是基于傳統的分子束外延系統和脈沖激光沉積系統（PLD）發展起來的，其屬于**薄膜制備設備，未來應用前景更廣闊。
分子束外延系統是一種用于物理學、化學、材料科學領域的分析儀器。分子束外延（MBE）是一種新的晶體增長技術，是在超高真空環境下，使具有一定熱能的一種或多種分子（原子）束流噴射到晶體襯底，在襯底表面發生反應的過程。作為新外延制膜方法，分子束外延具有束流強度易控制、襯底溫度低、膜層生長速率慢、可實現選擇性外延生長等優勢。
根據類型不同，分子束外延系統可分為普通型、激光型，其中普通型分子束外延系統是市場主流產品，市場占比超過七成。激光分子束外延系統是基于傳統的分子束外延系統和脈沖激光沉積系統（PLD）發展起來的，其屬于**薄膜制備設備，未來應用前景更廣闊。